반도체 청정실용 트롤리 히터

트롤리 히터의 성능을 최대한 활용하는 방법 반도체 청정실에서 일해본 적이 있다면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 운반용 트롤리 위에 있는 웨이퍼를 가열해야 하는데, 에너지를 정확히 필요한 곳에 전달하는 것은 생각보다 훨씬 어렵습니다. 대부분의 경우, 열이 제대로 전달되...