반도체 어닐링용 적외선 램프

제조 현장에서는 램프에 문제가 생겨도 스케줄러가 작동을 중단하지 않습니다. 소프트 베이크, 하드 베이크, 그리고 에кспози션 후의 베이크 과정들은 일정한 열 조건 하에서 진행됩니다. 만약 열원에 문제가 생기거나 작동을 멈춘다면, 웨이퍼의 품질에 심각한 영향을 미칩...