두통 없이 MEMS 웨이퍼를 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 물을 빠르게 제거해야 하지만, 너무 과도하게 열을 가하면 아주 섬세한 미세구조가 손상될 수 있습니다. 대부분의 사람들은 방 전체에 열을 가하는 방식을 사용합니...

장비를 과열시키지 마세요: 열을 보다 효과적으로 제어하는 방법 대부분의 일반적인 가열 요소들은 에너지를 사방으로 방출합니다. 즉, 360도로 열이 퍼져나가는 것입니다. 반도체 제조 공정에서 이런 상황은 문제가 됩니다. 그렇게 낭비되는 에너지가 장비의 내부 벽에 부딪혀...