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IR 램프용 알루미늄 반사판 먼지를 막는 방법: 클래스 100 클린룸에서 IR 히터를 제대로 사용하는 방법 만약 여러분이 클래스 100 클린룸에서 일반적인 IR 히터를 사용해 본 적이 있다면, 그 고통스러운 경험을 잘 알 것입니다. 히터를 작동시키자마자 웨이퍼나 렌즈가 손상되는 경우가 많습니다.... 더 읽기
