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방향성 적외선 가열을 통한 반도체 장비의 캐비닛 과열 현상 완화

방향성 적외선 가열을 통한 반도체 장비의 캐비닛 과열 현상 완화

장비를 과열시키지 마세요: 열을 보다 효과적으로 제어하는 방법 대부분의 일반적인 가열 요소들은 에너지를 사방으로 방출합니다. 즉, 360도로 열이 퍼져나가는 것입니다. 반도체 제조 공정에서 이런 상황은 문제가 됩니다. 그렇게 낭비되는 에너지가 장비의 내부 벽에 부딪혀...
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