제어된 대기 베이크 램프

Fab 라인에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 “열 처리 단계”가 아니다. 이는 마치 줄타기와 같다. 2°C의 편차만으로도 치수(CD)가 목표에서 벗어날 수 있으며, 베이크 과정 중 입자가 발생하면 수율이 급격히 떨어진다. 당사는 이러한 두 가지 실패 원인을...