두통 없이 MEMS 웨이퍼를 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 물을 빠르게 제거해야 하지만, 너무 과도하게 열을 가하면 아주 섬세한 미세구조가 손상될 수 있습니다. 대부분의 사람들은 방 전체에 열을 가하는 방식을 사용합니...

공기를 가열하는 데 에너지를 낭비하지 마세요: 웨이퍼를 건조시키는 더 효율적인 방법 반도체 공장들은 탄소 중립을 실현해야 한다는 압박을 받고 있습니다. 하지만 건조 과정을 살펴보면, 에너지 효율 면에서는 여전히 문제가 많습니다. 여전히 많은 공장들이 구식의 대류식 오...

팹 내에서의 탄소 배출 감소: 왜 적외선 가열이 효과적인가? 반도체 제조 공장들은 탄소 중립이라는 목표를 달성하기 위해 많은 노력을 기울이고 있습니다. 하지만 웨이퍼 건조 단계에서 엄청난 양의 에너지가 낭비되고 있습니다. 저는 이런 상황을 자주 목격합니다. 공장들은...

MEMS 건조 과정에서 발생하는 램프 파손 문제에 대해 이야기해 보겠습니다. 고부하가 요구되는 MEMS 생산 라인을 운영할 때는 끔찍한 상황이 발생할 수 있습니다. 즉, 적외선 램프가 파손되는 것입니다. 문제는 단순히 가동 중단뿐만이 아닙니다. 석영관이 파손되면 유리...

제조 현장에서는 솔더 마스크를 건조시키는 과정이 단순한 정지 시간이 아니라, 오히려 중요한 공정 단계입니다. 만약 건조 과정에 문제가 생기면 포토레지스트의 형태가 변하고, 리소그래피 공정에도 문제가 생깁니다. 우리는 이러한 상황을 고려하여 해당 시스템을 설계했습니다....

제조 공정에서, 클린룸에서 나온 웨이퍼는 단순히 “습한” 상태가 아닙니다. 그건 문제가 되는 요소입니다. 남아있는 수분은 나중에 마이크로 브리지나 패턴의 변형과 같은 문제를 일으킬 수 있습니다. 바로 포토레지스트의 형상을 유지하려는 순간에 말입니다. 일반적인 건조 방...

Role 현장에서는 베이크 윈도우 미스나 건조 시간 변동을 문서상의 문제로 치부할 수 없습니다. 불량으로 처리합니다. 포토레지스트 소프트 베이크 및 하드 베이크 시간은 CD 제어와 접착을 초기부터 정확히 설정합니다. 패키징 공정에서는 잔류 수분이 몰딩 및 리플로우 후...