頭を悩ませることなくMEMSウェーハを乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、かなり難しい作業です。水を素早く除去する必要がありますが、力を入れすぎると、微細で繊細な微細構造が壊れてしまいます。 多くの人々は、チャンバー全体に対して対流熱を当てて乾燥させようとします。しかし、こ...

MEMS乾燥工程におけるランプの破損について話しましょう。 もし、高負荷のMEMS製造ラインを運用しているなら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。赤外線ランプが破裂してしまうのです。 問題は単に停止時間だけではありません。実際には、ガラスの破片やタングステンの残渣がセンサーワーフ上に降り注ぎます。...