もう、熱風を待っている必要はありません。なぜなら、赤外線放射体は実際に効果的だからです。古い半導体製造工場を見てみると、依然として熱風による加熱方式が使われている場所が多いです。これは古いやり方です。しかし正直言って、強制送風では効率が悪いのです。ウェハーの表面を温めるために部屋全体を加熱すること...

無駄な熱の浪費をやめましょう：なぜ金コーティングされた反射器が重要なのか 正直に言って、ウェーハ処理においてエネルギーを無駄にするのは、単なる悪い設計です。高出力のIRランプを使用している場合、その熱の多くが適切な方向に伝わらず、逆方向に放射されてしまいます。つまり、基板に効率的に熱が届かないので...

なぜIRエミッターにはより良いエンドキャップが必要なのか 半導体製造工場で働いたことがある人ならわかると思いますが、正確な加熱ができるかどうかが、装置が正常に動作するかどうかを決定します。私たちはウェーハの温度を一定に保つためにIRエミッターを利用していますが、問題点があります。それは、加熱素子が...

粉塵の発生を防ぐ：クラス100の清浄室でIRヒーターを使うための方法 もし、クラス100の清浄室で通常のIRヒーターを使ってみたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。ヒーターを動かし始めると、すぐにウェーハやレンズが損傷してしまいます。なぜでしょうか？それは、ほとんどのヒーターが実際には微...