ウェーハ用高精度赤外線センサー

ライン上で、ウェハーはごくわずかな熱予算でベークステーションに到達する。ソフトベークはフォトレジストのプロファイルを設定し、ハードベークはパターンの忠実性を固定する。数十分の一度の温度変動、目に見えないホットスポットがあると、CD（クリティカルディメンション）がばらつき始める。ペリクルの応力が変化...