金コーティングされた赤外線反射器を用いたウェハ加工における放射フラックスの最大化

熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングされた反射器が効果的か もしシリコンウェーハを加熱しているのに、エネルギーがどこにでも漏れてしまっているなら、それは設計上の問題です。多くの人々は通常のアルミニウム製の反射器を使いますが、問題はアルミニウムが過剰に熱を吸収してしまうことです。その結果、ウェ...