半導体製造における時間コストの削減：赤外線放射器と熱風循環方式の比較

もう、熱風を待っている必要はありません。なぜなら、赤外線放射体は実際に効果的だからです。古い半導体製造工場を見てみると、依然として熱風による加熱方式が使われている場所が多いです。これは古いやり方です。しかし正直言って、強制送風では効率が悪いのです。ウェハーの表面を温めるために部屋全体を加熱すること...