赤外線加熱システムによる半導体製造工場の乾燥プロセスにおける炭素排出量の削減

空気を温めるためにエネルギーを無駄にするのはやめましょう。ウェーハを乾燥させるためのより良い方法があります。 半導体製造工場では、カーボンニュートラルを実現するための圧力が高まっています。しかし、乾燥工程を見てみると、エネルギー効率の面で問題が多いです。依然として多くの工場で古式の対流型オーブンが...