ファブ用に赤外線ランプをまとめて購入する

ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際に生じる温度変動は、単なる仮定上の問題ではありません。これにより、線幅の揺らぎや接着力の低下、歩留まりの悪化といった問題が発生します。もしオーブンの温度制御が不安定になれば、被害を受けるのはウェーハです。私たちは、サイクルごとにその温度を安定させるために...