バスルームのヒーターを危険なものにしないようにしましょう。 バスルームに赤外線ランプを設置するのは、まるで水との“チキンゲーム”のようです。常に蒸気が発生し、水しぶきも飛び散り、湿度も高いです。普通のヒーターをその場所に置いて、うまくいくことを願うだけでは不十分です。安全を確保するためには、電気が...

ファブフロアにおいて、ウェハとヒーター間のギャップは単なる脚注ではなく、無視できないプロセスパラメータです。その距離がずれると、熱の均一性が崩れます。ソフトベイクおよびハードベイクのプロファイルが乱れ、CD制御に影響を及ぼし、リワークが増加します。 技術的に実際に重要な点 ウェハレベルで±0.1℃...