無駄な熱の浪費をやめましょう：なぜ金コーティングされた反射器が重要なのか 正直に言って、ウェーハ処理においてエネルギーを無駄にするのは、単なる悪い設計です。高出力のIRランプを使用している場合、その熱の多くが適切な方向に伝わらず、逆方向に放射されてしまいます。つまり、基板に効率的に熱が届かないので...

ライン上で、ウェハーはごくわずかな熱予算でベークステーションに到達する。ソフトベークはフォトレジストのプロファイルを設定し、ハードベークはパターンの忠実性を固定する。数十分の一度の温度変動、目に見えないホットスポットがあると、CD（クリティカルディメンション）がばらつき始める。ペリクルの応力が変化...