工場乾燥設備のエネルギー診断

半導体製造工場では、カーボンニュートラルの目標を達成するために大変な努力が求められています。しかし、実際にはウェーハを乾燥させる過程で、かなりのエネルギーが無駄に消費されているのです。 私はよくこんな光景を見かけます。依然として、大きな対流式オーブンや古めかしい加熱要素が使われているのです。これは...