頭を悩ませることなくMEMSウェーハを乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、かなり難しい作業です。水を素早く除去する必要がありますが、力を入れすぎると、微細で繊細な微細構造が壊れてしまいます。 多くの人々は、チャンバー全体に対して対流熱を当てて乾燥させようとします。しかし、こ...

装置を加熱するのをやめよう：熱を効果的に扱うための新しい方法 一般的な加熱素子は、エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。つまり、360度全方位に熱が散乱するのです。狭い半導体製造装置内で作業を行う場合、これは大きな問題となります。余分なエネルギーが装置の内壁に当たり、高価な装置が巨大なオー...