熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングされた反射器が効果的か もしシリコンウェーハを加熱しているのに、エネルギーがどこにでも漏れてしまっているなら、それは設計上の問題です。多くの人々は通常のアルミニウム製の反射器を使いますが、問題はアルミニウムが過剰に熱を吸収してしまうことです。その結果、ウェ...

無駄な熱の浪費をやめましょう：なぜ金コーティングされた反射器が重要なのか 正直に言って、ウェーハ処理においてエネルギーを無駄にするのは、単なる悪い設計です。高出力のIRランプを使用している場合、その熱の多くが適切な方向に伝わらず、逆方向に放射されてしまいます。つまり、基板に効率的に熱が届かないので...

空気を温めるためにエネルギーを無駄にするのはやめましょう。ウェーハを乾燥させるためのより良い方法があります。 半導体製造工場では、カーボンニュートラルを実現するための圧力が高まっています。しかし、乾燥工程を見てみると、エネルギー効率の面で問題が多いです。依然として多くの工場で古式の対流型オーブンが...