なぜカーボンファイバーIRランプが半導体工場にとって有効なのか 正直言って、半導体工場における温度制御は非常に難しい課題です。古い方式の抵抗加熱システムは、エネルギーを無駄に消費してしまいます。ウェハ自体を加熱する代わりに、ウェハの周囲の空気を加熱しているだけなのです。 そこで私たちはカーボンファ...

灯の破損によって生産効率を低下させないために 炭素ナノチューブの製造を行っている人なら、その問題をよく知っているでしょう。極度の温度制御が必要です。しかし、大量生産を行う際には、私たち全員が恐れる最悪の事態が起こり得ます。それは、赤外線ランプが破壊されることです。 単に停止時間が増えるだけではあり...