省エネ型ウェーハヒーター

熱を無駄にしないために：なぜ金製の反射器を使うのか 正直に言って、電力代を払ってもそのエネルギーがチャンバーの壁に消えてしまうのは、本当に腹立たしいことです。ウェーハを加工する際、基板に届かない1ワット毎が、実質的に無駄になってしまいます。 だからこそ、私たちは金でコーティングされた反射器を使用し...