半導体ヒーターのサプライヤー

ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際に0.5℃の温度変動があるだけで、線幅がナノメートル単位で変化し、良品が廃棄されてしまうこともあります。温度の安定性は単なる望ましい条件ではなく、プロセス自体にとって不可欠な要素です。私たちはこの状況に合わせてヒーターを設計し、150mmおよび200mm...