真空対応赤外線ヒーター

真空赤外線加熱を用いて半導体製造プロセスをより環境に優しくする もし本当に半導体製造工場でカーボンニュートラルを実現したいのであれば、熱管理が重要になります。従来の抵抗加熱方式は、エネルギーの無駄遣いが激しく、ウェハを加熱するのに時間がかかります。また、エネルギーがあちこちに漏れ出してしまいます。...