ウェーハ用中波赤外線ヒーター

リソグラフィ工程において、このソフトベイクは単なる軽いウォームアップではありません。溶剤の分布を固定し、CDの形状を決定し、その日の残りの時間、ずっと変わらない線端の粗さを決定するのです。もしホットプレートの温度が±2℃程度乱れると、ドーズの範囲が急速に狭くなります。その結果、不良品が増えてしまい...