ウェーハ乾燥炉用タイマー

Fabフロアでは、ベイク時間の逸失や乾燥時間のズレを「書類上の問題」とは呼ばず、スクラップと呼ぶ。 フォトレジストのソフトベイクおよびハードベイク時間は、CD制御と接着性を工程の初期段階で確定させる。パッケージング工程では、残留水分が後工程のモールドやリフロー後に剥離として現れる。 オーブンのタイ...