なぜセンサーパッケージングにおいて強制送風ではなく赤外線を利用するのか？ スマートセンサーの処理に携わっている人なら、最も厄介なのは待つことだと知っているでしょう。具体的には、部品が十分に熱くなるまで待つ必要があります。 長年にわたり、私たちは熱風を利用してきました。しかし、強制送風は効率が悪いで...

ヒーター要素が製品の品質を損なうのを防ぎましょう。 クラス100のクリーンルームで作業している場合、その恐怖をご存知でしょう。わずかなほこりやガスの発生だけで、作業した製品全体が無駄になってしまいます。本当に厄介です。一般的なヒーター要素は、安定して動作する必要がある時に、むしろ破損したり、揮発性...

MEMS乾燥工程におけるランプの破損について話しましょう。 もし、高負荷のMEMS製造ラインを運用しているなら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。赤外線ランプが破裂してしまうのです。 問題は単に停止時間だけではありません。実際には、ガラスの破片やタングステンの残渣がセンサーワーフ上に降り注ぎます。...

揮発性化学物質を扱う際には、環境を冷却し、安全を保つことが不可欠です。水素センサーを製造する際には、温度制御が非常に重要です。しかし問題は、通常、この作業が可燃性の洗浄剤のそばで行われるという点です。そうした環境では、一般的な赤外線ライトは単なる道具ではなく、むしろ危険要素となります。石英管にわず...

ライン上で、ウェハーはごくわずかな熱予算でベークステーションに到達する。ソフトベークはフォトレジストのプロファイルを設定し、ハードベークはパターンの忠実性を固定する。数十分の一度の温度変動、目に見えないホットスポットがあると、CD（クリティカルディメンション）がばらつき始める。ペリクルの応力が変化...