もう、熱風を待っている必要はありません。なぜなら、赤外線放射体は実際に効果的だからです。古い半導体製造工場を見てみると、依然として熱風による加熱方式が使われている場所が多いです。これは古いやり方です。しかし正直言って、強制送風では効率が悪いのです。ウェハーの表面を温めるために部屋全体を加熱すること...

なぜIRエミッターにはより良いエンドキャップが必要なのか 半導体製造工場で働いたことがある人ならわかると思いますが、正確な加熱ができるかどうかが、装置が正常に動作するかどうかを決定します。私たちはウェーハの温度を一定に保つためにIRエミッターを利用していますが、問題点があります。それは、加熱素子が...

ファブフロアでは、事態がどれほど速く悪化するかを誰もが知っています。フォトレジストのソフトベーク工程において0.5°Cの温度ドリフトが発生するだけで、ライン幅が変動します。不安定な乾燥ランプはマイクロブリッジングの原因になります。熱の再現性は「あると便利」なものではなく、プロセスそのものです。 当...