エヴァテック・エバポレーター加熱ランプ

リソグラフィーの工程では、ソフトベイク中に温度がどれだけ急速に変化してしまうかが問題です。わずか0.5度の偏差でも、重要な寸法制御を乱し、多くのワークを廃棄する原因となります。Evatecの蒸発器用ヒーターランプは、このような厳しい環境下で使用できるように設計されており、サブミリメートル単位の精度...