装置を安全に保つために：半導体ヒーターの絶縁性能についての真実 半導体用の加熱素子を製造する際、熱に対処するのは簡単な部分です。本当に問題となるのは、電気の漏れです。 高ワット数のシステムでは、わずかな漏れでも大きな問題になります。それによって制御ボードが破壊されたり、生産ライン全体が停止してしま...

熱を無駄にしないために：なぜ金製の反射器を使うのか 正直に言って、電力代を払ってもそのエネルギーがチャンバーの壁に消えてしまうのは、本当に腹立たしいことです。ウェーハを加工する際、基板に届かない1ワット毎が、実質的に無駄になってしまいます。 だからこそ、私たちは金でコーティングされた反射器を使用し...