以下に、次の分類用語を使用するページがあります “アルミニウム” IRランプ用アルミニウム反射板 粉塵の発生を防ぐ:クラス100の清浄室でIRヒーターを使うための方法 もし、クラス100の清浄室で通常のIRヒーターを使ってみたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。ヒーターを動かし始めると、すぐにウェーハやレンズが損傷してしまいます。なぜでしょうか?それは、ほとんどのヒーターが実際には微... Read more...
IRランプ用アルミニウム反射板 粉塵の発生を防ぐ:クラス100の清浄室でIRヒーターを使うための方法 もし、クラス100の清浄室で通常のIRヒーターを使ってみたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。ヒーターを動かし始めると、すぐにウェーハやレンズが損傷してしまいます。なぜでしょうか?それは、ほとんどのヒーターが実際には微... Read more...