用于集成电路的紧凑型红外干燥器

在晶圆加工过程中，哪怕温度偏差只有半度，都可能影响晶圆的尺寸精度，进而导致整批晶圆报废。因此，我们不需要那种“接近目标温度”的加热方式，而是需要能够始终保持在规定范围内的精确温度。 我们所设计的解决方案及其重要性 这款紧凑型红外干燥机配备了中波近红外发射器以及石英材质的加热结构，这样可以确保整个晶...