如何让100级洁净室保持清洁状态
在半导体制造厂中， “温度控制”只不过是解决问题的一半而已。真正的难题在于污染问题。在100级洁净环境中，哪怕只有一小片聚合物碎片或一粒灰尘，都可能破坏晶片的品质，进而导致整个生产流程失败。
因此，我们不会随便使用普通的加热器。我们会使用高纯度石英红外灯以及特氟龙绝缘导线。这样做的好处如下：
高纯度石英的优势
大多数石英灯都含有金属杂质。在高温下，这些杂质会析出。对于半导体制造而言，这无疑是一场灾难。我们使用的是合成高纯度石英，这样可以避免这种情况发生。这类灯泡发出的是短波红外辐射，能量能够直接作用于被加工的半导体材料上，而不会浪费时间去加热周围的空气。这样一来，就能减少因对流而产生的灰尘。
为什么导线是容易出问题的地方
通常情况下，导线是最容易出问题的部分。如果使用普通的PVC或硅胶绝缘层，它们在受热后会开始冒烟，并释放出有害的有机化合物，这些化合物会附着在半导体材料上，造成严重后果。我们则使用特氟龙作为导线绝缘材料。它在高温下依然保持稳定，不会释放任何气体。而且它具有化学惰性，无论是在真空环境还是高温环境下，都不需要担心会有任何问题。
需要注意的几点
这类灯泡会在极小的空间内产生大量热量。虽然效率很高，但这就要求我们必须注意其安装方式。如果冷却系统无法有效处理产生的热量，那么灯泡的外壳就可能会变形。我们设计的这些灯泡可以轻松替代现有的加热器，而且不会产生任何颗粒物，同时还能快速达到所需的温度。只需确保电源的功率与灯泡的要求相匹配即可。否则，灯泡的灯丝可能会过早烧毁。