Một cách tốt hơn để sấy khô các wafer bán dẫn Hãy cùng bàn về vấn đề khó khăn khi phải sấy khô và xử lý các wafer sau quá trình rửa. Với xu hướng chuyển sang sử dụng các vật liệu không chứa chì và thân thiện với môi trường, các phương pháp cũ đã không còn hiệu quả nữa. Đó là lý do tại sao chúng ta chọn sử dụng các bóng đèn hồng ngoại chống nước. Những bóng đèn này giúp loại bỏ các chất hoá học có hại, đồng thời giảm lượng khí thải carbon trong quá trình sấy khô. Nguyên lý hoạt động của bóng đèn hồng ngoại Hãy tưởng tượng về lò nướng thông thường: nó tiêu tốn rất nhiều năng lượng chỉ để làm nóng không khí bên trong lò, trước khi chiếc wafer tiếp xúc được với nguồn nhiệt. Điều này rõ ràng là lãng phí. Bóng đèn hồng ngoại thì khác. Nó truyền năng lượng trực tiếp vào bề mặt wafer, không cần qua bất kỳ trung gian nào. Vì chúng ta đang xử lý nước rửa, nên chúng ta cần sử dụng các linh kiện chống nước. Nếu không, hơi ẩm sẽ xâm nhập vào bên trong, khiến lớp vỏ thủy tinh bị nứt, và dẫn đến tình trạng chập điện. Chắc chắn không ai muốn điều đó xảy ra vào một buổi sáng thứ Ba cả. Giữ được tính thân thiện với môi trường mà không gây ra rắc rối Khi chúng ta hướng tới việc sử dụng các vật liệu không chứa chì, điều cuối cùng chúng ta muốn là tạo thêm các chất gây ô nhiễm. Bóng đèn hồng ngoại là giải pháp “khô” – bạn không cần sử dụng các hợp chất hữu cơ dễ bay hơi để đẩy nhanh quá trình sấy khô. Chúng ta sử dụng bóng đèn hồng ngoại bước sóng ngắn hoặc trung bình để tác động trực tiếp vào những chỗ mà nước và các chất còn sót lại bám vào. Nhờ đó, mọi thứ sẽ bay hơi nhanh chóng, nhưng nhiệt độ tổng thể vẫn được duy trì ở mức thấp. Điều này rất quan trọng, vì nó giúp ngăn chặn việc các wafer bị biến dạng hoặc nứt vỡ do áp lực nhiệt. Những hạn chế (Bởi vì không có gì là hoàn hảo) Nhược điểm của bóng đèn hồng ngoại là chúng tiêu tốn nhiều năng lượng. Chúng giúp tăng tốc độ sản xuất, nhưng cũng khiến máy móc trở nên quá nóng. Nếu hệ thống làm mát không tốt, nhiệt độ cao có thể làm hỏng khung máy hoặc các cảm biến. Đây là một vấn đề cần được giải quyết. Tin tốt là chúng tôi đã thiết kế những bóng đèn này sao cho chúng có thể thay thế dễ dàng cho các bộ phận sưởi truyền thống. Khi bạn chuyển sang sử dụng bóng đèn hồng ngoại, thời gian khởi động sẽ giảm đi đáng kể, và bạn cũng sẽ không còn lãng phí năng lượng nữa. Đây chắc chắn là giải pháp tốt để đạt được mục tiêu thân thiện với môi trường, mà vẫn giữ được chất lượng của các wafer.