Hãy ngừng để bụi bẩn phá hủy các cảm biến sinh học của bạn đi! Khi làm việc trong phòng sạch loại 100, bạn gần như đang chiến đấu với những thứ vô hình. Chỉ cần một hạt bụi nhỏ hoặc khí hóa học nào đó – những thứ mà các kỹ sư gọi là “khí thải” – thì toàn bộ sản phẩm của bạn sẽ bị hủy hoại. Vấn đề là hầu hết các linh kiện gia nhiệt thông thường đều không thể sử dụng được trong môi trường này. Chúng dễ bị nứt vỡ, và chúng còn thải ra các chất gây ô nhiễm ngay khi đạt đến nhiệt độ tối đa. Đó quả là một thảm họa có thể xảy ra bất cứ lúc nào. Đó là lý do tại sao chúng tôi chọn sử dụng đèn hồng ngoại làm từ thạch anh nguyên chất. Loại đèn này được thiết kế dành riêng cho môi trường yêu cầu độ sạch cao như thế này. Tại sao thạch anh lại quan trọng? Chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp để làm vỏ đèn. Về mặt kỹ thuật, thạch anh có hệ số giãn nở nhiệt thấp; nói một cách đơn giản, nó sẽ không bị nứt vỡ khi nhiệt độ tăng lên hay giảm xuống. Nhưng điểm mạnh nhất của thạch anh là nó không tạo ra bụi bẩn. Khi bạn đang xử lý các lớp vật liệu nhạy cảm, chỉ một hạt bụi nhỏ cũng có thể gây hư hại cho lớp vật liệu đó hoặc làm hỏng các cảm biến. Thật đáng tiếc khi phải chứng kiến một tấm wafer hoàn hảo bị phá hủy bởi một hạt bụi siêu nhỏ. Với thạch anh, rủi ro này gần như bị loại bỏ hoàn toàn. Kiểm soát nhiệt độ Chúng tôi đã điều chỉnh đèn sao cho nó phát ra bức xạ sóng ngắn. Điều này giúp nhiệt độ được truyền trực tiếp vào vật liệu cần xử lý, thay vì làm nóng toàn bộ bộ phận bao quanh hoặc làm tan chảy những vật liệu không nên bị nóng. Chúng tôi cũng điều chỉnh công suất và điện áp để đạt được mật độ nhiệt độ chính xác cần thiết. Nhiệt độ tăng lên rất nhanh. Điều này rất quan trọng, vì nó giúp thu hẹp khoảng thời gian mà bụi bẩn có thể tích tụ trên các tấm wafer. Áp dụng vào thực tế Chúng tôi đã lắp thêm các bộ phận đóng kín vào đèn, để tránh tình trạng khí halogen bên trong đèn thoát ra ngoài. Hãy chắc chắn rằng các bộ phận treo đèn được làm từ vật liệu sạch, chẳng hạn như thép không gỉ loại 316L. Đừng để những bộ phận rẻ tiền phá hỏng toàn bộ công sức của bạn. Một điều cuối cùng cần lưu ý: những chiếc đèn này phát ra rất nhiệt. Nếu hệ thống thông gió của bạn không đủ mạnh để xử lý lượng nhiệt này, nhiệt độ trên các tấm wafer sẽ thay đổi liên tục. Bạn cần tìm được sự cân bằng giữa công suất đèn và lưu lượng không khí. Khi bạn tìm được sự cân bằng này, bản đồ nhiệt độ sẽ ổn định, và các cảm biến của bạn sẽ hoạt động tốt mỗi lần sử dụng.