На виробничій лінії процес сушіння захисного шару не є просто перервою у роботі – це важлива стадія процесу. Якщо температура під час сушіння змінюється, профіль фоточутливого шару також змінюється, що призводить до проблем під час процесу літографії. Ми створили систему, яка враховує саме ці умови.
Що є важливим у цій системі
Ми підтримуємо температурну однорідність на всій поверхні пластини на рівні ±0,1°C, щоб кожна ділянка отримувала однаковий тепловий опір. Кварцово-галогенні лампи забезпечують швидку та стабільну реакцію під час сушіння, що дозволяє скоротити час виконання процесу без втрати контролю над ним. Камера призначена для роботи в умовах чистої кімнати класу 1–100; кожен шлях руху повітря розташований так, щоб уникнути утворення частинок. Точність контролю температури становить кілька мілісекунд, що забезпечує стабільні результати при обробці різних партій продукції.
Чому система може працювати 7×24
Коли робота ведеться 7×24, надійність – це не просто показник, а основа роботи системи. Система працює без жодних непланових зупинок, а компоненти розроблені так, щоб служити понад 5 000 годин без необхідності технічного обслуговування. Менше переривань означає стабільну продуктивність та передбачувану потужність. Також точність контролю температури допомагає уникнути проблем, пов’язаних з недостатнім чи надмірним випалюванням матеріалу. Швидке та точне сушіння також дозволяє зменшити споживання енергії на одну пластину та скоротити час виконання процесу.
Практичні деталі, які потрібно врахувати
Для роботи системи необхіден спеціальний канал відведення відпрацьованих газів та стабільне живлення з точним регулюванням напруги. Тривалість роботи ламп та їхня стабільність залежать саме від цих умов. Система підтримує стандартні методи обробки пластин та інтерфейси SECS/GEM. Однак для інтеграції системи в існуючі лінії може знадобитися короткий час на налаштування параметрів. Плануйте це заздалегідь, щоб лінія могла працювати належним чином, день за днем.