Сушіння пластин MEMS без проблем Сушіння пластин сенсорів типу MEMS – це складний процес. Потрібно, щоб вода швидко зникала, але якщо діяти занадто різко, можна пошкодити ті крихкі мікроструктури. Більшість людей просто нагрівають всю камеру за допомогою конвективного тепла. Це неефективно – насправді ви просто нагріваєте повітря та стіни, щоб пластина висохла. Ми ж використовуємо напрямлені інфрачервоні лампи. Замість того, щоб нагрівати все навколо, ми спрямовуємо енергію безпосередньо на пластину. Чому варто використовувати напрямлене тепло? Уявіть собі звичайний обігрівач – він поширює тепло у всіх напрямках, що означає втрату енергії. У пристроях для обробки напівпровідників це означає, що внутрішні стіни стають дуже гарячими. Це марнування енергії та загроза для безпеки особи, яка керує пристроєм. Ми використовуємо лампи з короткохвильовим інфрачервоним випромінюванням та відбивними поверхнями. Це схоже на використання ліхтарика замість лампочки – вся енергія потрапляє на пластину, а стіни пристрою залишаються прохолодними на дотик. Це значно ефективніший спосіб. Проблема Щоб досягти швидкого висихання, ми зазвичай використовуємо галогенні кварцові трубки високої потужності. Вони дозволяють швидко підняти температуру. Але є одна проблема: джерело живлення мусить витримувати цей піковий напруження струму. Не можна просто підвищувати потужність до максимуму, щоб заощадити кілька секунд – це призведе до теплового удару. Справжній секрет полягає у відстані між лампою та пластиною. Якщо лампа знаходиться занадто близько, можуть утворитися „гарячі точки“, які можуть пошкодити мембрани сенсора. Головне – знайти оптимальну відстань. Як це працює на практиці Оскільки тепло фокусується, не потрібні товсті ізоляційні шари навколо пристрою. Це робить весь пристрій меншим та простішим у керуванні. Крім того, можна поєднати цей пристрій із контролером PID, щоб уникнути перевищення цільової температури. Корисна порада: короткохвильове інфрачервоне випромінювання поводиться інакше, ніж довгохвильове. Воно по-різному проникає в матеріали. Тож потрібно уважно перевірити, як ваша пластина поглинає тепло, щоб правильно налаштувати час нагрівання.