Чому ми перейшли на використання інфрачервоних нагрівачів у чистих кімнатах
Коли працюєш на заводі з виробництва напівпровідників, „чистота“ – це не просто ціль, а все. Навіть найменша кількість залишків може зіпсувати цілу партію продукції. Довгий час для нагріву використовувалися конвекційні печі. Але, будемо щирими: розповсюдження гарячого повітря по всій кімнаті є ризикованим рішенням. Фактично ви просто розносите частинки по кімнаті та витрачаєте безліч енергії лише для нагріву повітря та стін.
Саме тому ми перейшли на використання інфрачервоних нагрівачів. Замість нагріву всієї кімнати ми нагріваємо сам матеріал, який обробляється.
Чарівність прямого нагріву
Уявіть собі, що ви стоїте на сонці у холодний день. Вам не потрібно, щоб температура повітря була 80 градусів, щоб відчути тепло – випромінювання потрапляє прямо на вас. Інфрачервоне випромінювання робить те саме з пластинами.
Оскільки ми не розповсюджуємо повітря, ми усуваємо найбільше джерело забруднення в чистій кімнаті. Крім того, цей метод значно ефективніший. Ви не тратите гроші на нагрів великої металевої коробки; енергія потрапляє саме туди, де їй потрібно. Це значно кращий спосіб дотримання суворих вимог щодо відсутності свинцю та екологічності, без використання агресивних хімічних розчинників.
Проблеми
Але все не так просто. Ми зазвичай використовуємо лампи короткохвильового чи середньохвильового діапазону, оскільки вони швидко нагріваються. Це дуже швидко. І це дозволяє заощадити час у процесі виробництва.
Але є одна проблема: оскільки тепло концентрується в точці, необхідно дуже уважно контролювати відстань між лампою та пластиною. Якщо відстань занадто мала, можуть виникнути „гарячі точки“, або ж пластина може деформуватися. Потрібна система керування з функцією PID, яка може миттєво реагувати, щоб запобігти перегріву.
Менше енергоспоживання
Найкраще те, що обладнання є меншим за розмірами. Ми можемо уникнути використання великих відфуковувачів та щільних ізоляційних матеріалів, тож станція для обробки займає значно менше місця. Інфрачервоні нагрівачі значно краще перетворюють електроенергію на тепло, ніж старі газові чи резистивні нагрівачі.
У кінцевому підсумку ви витрачаєте менше енергії на обробку однієї пластини, а процес залишається бездоганним. Це цілком логічно для сучасного заводу.