Havayla uğraşarak enerji israf etmeyi bırakın: Waferleri kurutmanın daha iyi yolu Yarı iletken üretim tesisleri, karbon nötr olma konusunda baskı altında. Ancak kurutma aşamasına bakıldığında, bu sürecin enerji verimliliği açısından oldukça kötü olduğu görülüyor. Hâlâ birçok tesiste eski tip konveksiyon fırınları kullanılıyor. Bu durum, sanki sadece bir fincan kahveyi ısıtmak için tüm odayı ısıtmaya çalışmak gibi; aslında önemli olan şey waferlerdir, ancak boş yere çok fazla enerji harcanıyor. Kısa dalga kızılötesi ışıkların nasıl çalıştığı Kısa dalga kızılötesi (IR) lambalarını kullanıyoruz; çünkü bunlar havayla ilgili sorunlara yol açmaz. Atmosferin ısınmasını beklemek yerine, fotonlar doğrudan wafer yüzeyine çarpar ve anında ısıya dönüşür. Bu işlem çok hızlıdır; saniyeler içinde istenen sıcaklığa ulaşılır. Rakamlar ve neden önemli oldukları Bir tesisin denetimini yaparken dikkat ettiğimiz tek şey, her wafer başına harcanan kilovatsaattir. Odaklanmış IR dizileri sayesinde bu büyük enerji tüketimi ortadan kalkar. Artık ağır çelik duvarlarla mücadele etmek zorunda değilsiniz. Ayrıca, enerji miktarını ayarlamak için darbe genişlik modülasyonu (PWM) kullanıyoruz. Bu sayede ani açma/kapama yerine daha hassas kontrol mümkün oluyor. Böylece aşırı ısınma sorunu ortadan kalkar ve waferlerin bozulması da engellenir. En iyisi ise, elektrik tüketiminizin genellikle %20 ila %30 oranında azalmasıdır. Ancak dikkat edilmesi gereken noktalar… IR dizileri oldukça güçlüdür, ancak bunları basitçe eski cihazlara takıp kullanamazsınız. Eğer soğutma sistemleriniz yetersizse, wafer tutucularından yansıyan ısı cihazlarınıza zarar verebilir. Lambalarınız yanabilir veya daha kötüsü, waferler zarar görebilir. IR teknolojisine geçiş, sadece lambaları değiştirmekten daha fazlasıdır; tesisin genel enerji dengesini göz önünde bulundurmak ve yıllardır bütçenizi tüketen bu “boşa harcanan enerjiyi” ortadan kaldırmak demektir.