
Isı Kaybını Durdurun: Altın Kaplamalı Yansıtıcıların Neden Etkili Olduğu Eğer silikon wafları ısıtıyorsanız ve enerjiniz her yöne dağılıyorsa, bu bir tasarım sorunudur. Çoğu kişi standart alüminyum yansıtıcıları kullanır; ancak burada sorun şu ki alüminyum çok fazla ısı emer. Böylece ısı, wafer yerine lambanın kendisini ısıtır. Bu da bir israf demektir. İşte bu yüzden altın kullanıyoruz. Altının avantajları Mesele sadece görünüş değil. Altın, alüminyum veya parlak çeliklere kıyasla kızılötesi radyasyonu çok daha iyi yansıtabilir. Yansıtıcı üzerine hassas bir altın tabakası konulduğunda, ısı dağılmaz ve odaklanır. Böylece wafer üzerine yoğun bir enerji huzmesi düşer ve işi tamamlamak için daha yüksek güç kullanmanıza gerek kalmaz. Güç tüketimini kontrol etmek Bu lambaları wafer işleme cihazlarına yerleştirmek bir denge meselesidir. Çünkü çok fazla ısı üretildiği için bu lambalar oldukça ısınır. Soğutma sisteminizin, hedefe ulaşmayan ısıyı kontrol edebilecek kapasitede olması gerekiyor. Eğer hava akışı yetersizse, lambalar aşırı ısınır ve elektrik bağlantıları zarar görür. Havayı temiz tutmak Temiz oda ortamlarında ozon büyük bir düşmandır. Bu, kesinlikle istenmeyen bir kirleticidir. Ozonun oluşmasını engellemek için kuvars ve filaman kimyasallarını ayarladık. Böylece işlem gazınız saf kalır ve wafer yüzeyinin bozulmasını önleriz. Tercihler ve sınırlamalar (Çünkü hiçbir şey mükemmel değildir) Altın en iyi enerji geri dönüşümü sağlar; ancak yumuşak bir malzemedir. Lütfen ekipmanlarınızı korumak için bunları asla aşındırıcı malzemelerle temizlemeyin. Böylece yüzey hasar görür, odak noktası bozulur ve verimliliğiniz düşer. Lambaların parlak ve etkili kalması için temas olmadan temizleme yöntemleri kullanın. Ve son olarak: Hizalanma her şeydir. Lamba biraz bile eğilirse, ısı merkezi değişir. Böylece wafer üzerinde eşit olmayan ısı dağılımı oluşur ve her şeye yeniden başlamak zorunda kalırsınız.