ในกระบวนการผลิต การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 0.5°C ระหว่างขั้นตอนการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ ก็เพียงพอที่จะทำให้ความกว้างของเส้นที่สร้างขึ้นเปลี่ยนแปลงไปหลายนาโนเมตร ซึ่งจะทำให้ผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพดีกลายเป็นของเสียไปเลย ดังนั้น ความเสถียรของอุณหภูมิจึงไม่ใช่เรื่องที่สามารถเลือกได้ตามใจชอบ แต่เป็นสิ่งจำเป็นสำหรับกระบวนการผลิตเอง เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนของเรามาเพื่อให้สามารถควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C บนพื้นผิววัสดุที่มีขนาด 150 มม. และ 200 มม.
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราใช้เครื่องกำเนิดแสงแบบฮาโลเจนและ NIR ร่วมกับตัวสะท้อนแสงแบบควอตซ์ เพื่อให้พลังงานถูกส่งไปยังจุดที่จำเป็น ซึ่งจะช่วยลดมวลความร้อนและทำให้การตอบสนองของระบบมีความแม่นยำมากขึ้น ความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิอยู่ในช่วง ±0.5°C ในช่วงอุณหภูมิตั้งแต่ 90°C ถึง 250°C ดังนั้น กระบวนการอบวัสดุจึงสามารถดำเนินไปได้อย่างราบรื่น โดยไม่มีปัญหาเรื่องอุณหภูมิสูงเกินไป ความสามารถในการใช้งานในห้องสะอาดระดับ 1–100 นั้นมาจากวัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อยมาก การเชื่อมต่อที่แน่นหนา และการไม่มีการก่อตัวของอนุภาคใดๆ ระหว่างการอบวัสดุ ประสิทธิภาพของเครื่องทำความร้อนจะคงที่ตลอดเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการเปลี่ยนแปลงความเข้มของแสงน้อยกว่า 5%
นี่คือเหตุผลที่สิ่งนี้มีความสำคัญในกระบวนการลิโธกราฟีและการประมวลผลวัสดุโฟโตรีซิสต์: อุณหภูมิมีความสำคัญมาก โดยเครื่องทำความร้อนของเราช่วยรักษาความสม่ำเสมอของกระบวนการผลิตไว้ได้ตลอดเวลา ซึ่งจะช่วยลดความแปรปรวนของความกว้างของเส้นที่สร้างขึ้น และลดการต้องทำการปรับแก้ใหม่ การเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็วจะช่วยลดเวลาในการผลิต และความแม่นยำของอุณหภูมิจะช่วยลดการใช้พลังงานที่มากเกินไป ความน่าเชื่อถือของเครื่องทำความร้อนจะเห็นได้จากการที่ไม่มีการหยุดการทำงานโดยไม่คาดคิด และจำนวนอนุภาคบนวัสดุมีความสม่ำเสมอ
มีข้อควรระวังเล็กน้อย โดยเครื่องทำความร้อนเหล่านี้จำเป็นต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่เหมาะสม และมีเครื่องวัดอุณหภูมิที่ได้รับการปรับแต่งให้เหมาะสม เพื่อให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ หากนำเครื่องทำความร้อนเหล่านี้มาใช้กับระบบเก่า อาจจำเป็นต้องมีการปรับแต่งทางกลเล็กน้อย และปรับค่าการตั้งค่าของระบบให้เหมาะสม ควรวางแผนการติดตั้งให้เหมาะสมกับห้องสะอาด และต้องคำนึงถึงความเสื่อมของเครื่องทำความร้อนด้วย เรามีข้อมูลเกี่ยวกับความเสื่อมของเครื่องทำความร้อนให้ ซึ่งจะช่วยให้คุณสามารถควบคุมกระบวนการผลิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ