บนพื้นผิวหิน แม้ว่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงเพียงครึ่งองศาเดียว ก็อาจส่งผลให้ขนาดของชิปเปลี่ยนไป และอาจทำให้คุณสูญเสียชิปทั้งล็อตไปเลย คุณไม่จำเป็นต้องใช้ความร้อนที่ “ใกล้เคียง” กับค่าที่กำหนดเท่านั้น แต่คุณต้องการความร้อนที่มีค่าแม่นยำตามที่กำหนดไว้ ในทุกๆ รอบการผลิต
สิ่งที่เราสร้างขึ้น และเหตุใดมันจึงมีความสำคัญ
เราออกแบบเครื่องอบอินฟราเรดรูปแบบนี้ให้มีเครื่องกำเนิดรังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นกลาง พร้อมกับระบบควบคุมอุณหภูมิที่ทำจากควอตซ์ เพื่อให้สามารถรักษาอุณหภูมิให้คงที่ที่ ±0.1°C ได้ ระบบควบคุมแบบลูปปิดช่วยให้อุณหภูมิคงที่ตลอดเวลา ทำให้กระบวนการอบสามารถดำเนินไปได้อย่างมีประสิทธิภาพ
เครื่องนี้เหมาะสำหรับใช้ในห้องผลิตที่มีมาตรฐาน Class 1–100 โดยมีวัสดุที่ไม่ก่อให้เกิดก๊าซ และมีระบบการไหลของอากาศที่ช่วยลดการเกิดอนุภาคต่างๆ ในทางปฏิบัติ นั่นหมายความว่าเครื่องอบนี้จะไม่ก่อให้เกิดข้อบกพร่องใดๆ และสามารถให้อุณหภูมิที่แม่นยำได้ตลอดเวลา
เหตุใดมันจึงเหมาะกับกระบวนการผลิตชิป
ในกระบวนการผลิตชิป IC เครื่องนี้สามารถทำงานได้อย่างรวดเร็วและมีความแม่นยำสูง สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ และรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ตลอดช่วงการผลิต สิ่งนี้ช่วยให้สามารถควบคุมขนาดของชิปได้อย่างมีประสิทธิภาพ ลดการต้องผลิตชิปใหม่ และทำให้อัตราการผลิตมีความเสถียร
เนื่องจากเครื่องนี้สามารถตอบสนองได้อย่างรวดเร็ว และให้ความร้อนเฉพาะบริเวณที่จำเป็นเท่านั้น จึงช่วยลดการใช้พลังงานลง นอกจากนี้ ขนาดของเครื่องก็เล็กพอที่จะวางไว้ในพื้นที่จำกัดได้ โดยไม่ต้องแย่งพื้นที่กับอุปกรณ์อื่นๆ
สิ่งที่คุณต้องมีเพื่อให้เครื่องทำงานได้อย่างถูกต้อง
การติดตั้งเครื่องนี้ไม่ยาก แต่คุณจำเป็นต้องมีวงจรไฟฟ้าที่เหมาะสม และอากาศที่สะอาดและแห้ง เพื่อให้ระบบการระบายอากาศทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ ควรมีการทดสอบเครื่องเป็นเวลาสั้นๆ เพื่อปรับแต่งค่าการอบให้เหมาะสมกับชนิดของฟอโตรีซิสต์ที่ใช้
เมื่อเครื่องถูกปรับแต่งเรียบร้อยแล้ว เครื่องก็จะสามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยมีการปรับแต่งค่าอุณหภูมิเป็นประจำ และสามารถให้อุณหภูมิที่แม่นยำได้ในทุกๆ ชุดผลิต