На производственной площадке пластина, выходящая из процесса очистки, никогда не бывает просто «влажной». Это представляет собой серьезную проблему. Оставшаяся влага может стать причиной возникновения микроскопических структур и нарушения структуры поверхности пластины — именно в тот момент, когда необходимо сохранить правильную форму фоторезиста.
Традиционные методы сушки могут привести к возникновению температурных градиентов на поверхности пластины. Эти градиенты не остаются лишь теоретическими явлениями — они приводят к изменениям толщины линий на поверхности пластины. Мы разработали инфракрасные нагреватели для сушки пластин, чтобы устранить эту проблему.
Что действительно важно с технической точки зрения Наши низковолновые инфракрасные излучатели обеспечивают однородность температуры на всей поверхности пластины с точностью до субмиллиметра. Температура поддерживается в пределах ±0,1°C во время процедур релаксации и отверждения фоторезиста.
Кварцево-галогенный источник энергии передает энергию напрямую и быстро, поэтому время реакции составляет всего несколько миллисекунд, а не минут. Повторяемость процесса также гарантирована благодаря специальной системе контроля.
Используется замкнутый цикл контроля температуры, автоматическая настройка параметров PID, а кривые калибровки соответствуют стандартам NIST. Результат — процесс, которому можно доверять, будь то первая или тысячная пластина.
Почему это подходит для наших процессов В установках для литографии и процессах покрытия/отверждения нагреватели могут использоваться в условиях класса чистоты 1–100. Дизайн устройства исключает образование частиц, что снижает количество дефектов и повышает качество продукции.
Потребление энергии снижается, поскольку нагревается только сама пластина, а не всё помещение. Быстрое достижение заданной температуры сокращает время выполнения процесса без ущерба для температурного режима.
Профиль температуры фоторезиста остается стабильным — как в первой, так и в тысячной пластине. Это позволяет сократить время на доработку и выбрасывание бракованных изделий.
Практические детали Необходимо точное выравнивание направления излучения на поверхность пластины. Кроме того, профиль мощности должен быть стабильным. Напряженные падения и электромагнитные помехи могут повлиять на работу системы контроля. Мы используем специальные фильтры для поддержания стабильной работы устройства.
После выравнивания нагреватель может работать 24/7 с минимальным количеством технического обслуживания. Однако срок службы излучателя ограничен; его замена должна осуществляться через 5 000 часов работы, чтобы сохранить необходимый уровень однородности.