Сушка пластин с МЭМ-датчиками без проблем Сушка пластин с МЭМ-датчиками – это довольно сложная задача. Необходимо, чтобы вода исчезала как можно быстрее, но если использовать слишком высокую температуру, это может повредить тонкие микроструктуры на поверхности пластины. Большинство людей просто используют конвективное нагревание. Это неэффективно: при этом нагревается не только сама пластина, но и стены камеры. Мы же используем направленные инфракрасные лампы. Вместо того чтобы нагревать всю камеру, мы направляем энергию прямо на пластину. Зачем нужен направленный нагрев? Подумайте о обычном обогревателе: он излучает тепло во все стороны, тратя при этом энергию впустую. В случае с полупроводниковыми устройствами это означает, что внутренние стены камеры становятся чрезмерно горячими. Это не только неэффективно, но и представляет опасность для оператора. Мы используем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением и отражающими поверхностями. Это похоже на использование фонарика вместо лампочки: вся энергия идет на пластину, а стены камеры остаются прохладными на ощупь. Это гораздо более эффективный способ. Проблема Чтобы добиться быстрой сушки, мы обычно используем галогеновые кварцевые лампы с высокой мощностью. Они позволяют быстро повысить температуру. Но есть один недостаток: источник питания должен выдерживать такой всплеск тока. Нельзя просто увеличить мощность до максимума ради экономии нескольких секунд – это может привести к тепловому удару. Настоящий секрет заключается в расстоянии между лампой и пластиной. Если лампа находится слишком близко, возникают «горячие точки», которые могут повредить структуру датчика. Нужно найти оптимальное расстояние. Применение в реальных условиях Благодаря сосредоточенному нагреву не требуется использовать толстые слои изоляции снаружи устройства. Это делает всю конструкцию меньше и проще в управлении. Кроме того, можно использовать контроллер PID, чтобы избежать превышения целевой температуры. Короткий совет: коротковолновое инфракрасное излучение ведет себя иначе, чем длинноволновое. Его поглощение материалами также отличается. Необходимо тщательно проверить, как ваша конкретная пластина поглощает тепло, чтобы правильно выбрать время нагрева.