Op het lithografische oppervlak kan een lichte temperatuurstijging van maar een halve graad al leiden tot afwijkingen in de cruciale dimensies van de wafer. Dit kan ertoe leiden dat je hele ladingen wafer’s moet weggooien. Je hebt geen hitte nodig die ‘dichtbij’ de gewenste waarde ligt; je hebt hitte nodig die precies voldoet aan de vereisten, batch na batch.
Wat we hebben gebouwd en waarom dat belangrijk is
We hebben deze compacte infrarooddroger uitgerust met middengolf-NIR-emitters en een ketel op kwartsbasis. Hierdoor kunnen we een temperatuurconformiteit van ±0,1°C behouden over de hele wafer. Dankzij de gesloten regeling blijft de temperatuur constant, zodat zowel de zachte als de harde droogprocessen binnen de gewenste parameters blijven.
De droger is geschikt voor gebruik in steriele omgevingen (klasse 1–100). Hij gebruikt materialen met weinig uitstoot en heeft een laminaire luchtcirculatie, zodat er geen deeltjes worden gegenereerd. In praktijk betekent dit dat de droger geen defecten veroorzaakt en dat de droogprocessen consistent verlopen.
Waarom het past bij de realiteit in de chipfabricage
In de chipfabricage past deze droger perfect in de situatie waarin snelheid en precisie samenkomen. Hij bereikt snel de gewenste temperatuur, werkt efficiënt en houdt de temperatuurconstant door lange series wafer’s heen. Hierdoor is de controle op de dikte van de fotorezistent consistent, zijn er minder herwerkingen nodig en blijven de opbrengsten stabiel.
Omdat de droger snel reageert en alleen de delen verwarmt die dat nodig hebben, wordt de energieverbruik verminderd. Bovendien is de afmeting van de droger klein genoeg om gemakkelijk te worden geplaatst in kleine ruimtes.
Wat je nodig hebt om hem goed te laten werken
De integratie is eenvoudig, maar je hebt wel een aparte stroomvoorziening en schone, droge gecomprimeerde lucht nodig om de zuig- en ventilatiewegen in goede staat te houden. Plan een korte testperiode in om de instellingen aan te passen aan je fotorezistent. Eenmaal ingesteld, kan de droger 24/7 draaien, met regelmatige kalibratie, en zal hij steeds dezelfde thermische profielen leveren.