Hentikan pembaziran tenaga untuk tujuan pemanasan udara: Cara yang lebih baik untuk mengeringkan wafer
Kilang-kilang pengeluar semikonduktor sedang berusaha untuk mencapai keadaan karbon neutral. Namun, proses pengeringan wafer masih merupakan sumber pembaziran tenaga yang besar. Banyak kilang masih menggunakan kaedah pemanasan konvensional yang tidak efisien. Ia sama seperti usaha untuk memanaskan seluruh bilik hanya untuk memanaskan secawan kopi sahaja – anda membuang banyak tenaga untuk memanaskan dinding bilik, padahal yang sebenarnya perlu dipanaskan hanyalah wafer tersebut. Cara kerja inframerah Kami menggunakan lampu inframerah gelombang pendek kerana ia tidak memerlukan udara untuk proses pemanasan. Foton-foton dari lampu tersebut akan terus memanaskan permukaan wafer tanpa perlu menunggu suhu udara naik. Proses ini sangat cepat – suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam masa beberapa saat sahaja. Angka-angka yang penting Ketika kami melakukan pemeriksaan di kilang-kilang tersebut, kami memerhatikan satu perkara saja: kilowatt-jam per wafer. Dengan menggunakan sistem inframerah yang canggih, kita dapat mengurangkan pembaziran tenaga tersebut. Kita tidak perlu lagi berhadapan dengan dinding besi yang tebal yang menghalang proses pemanasan. Selain itu, kita juga boleh menggunakan teknik modulasi lebar puls untuk mengawal jumlah tenaga yang digunakan. Ini sama seperti menggunakan suis pencahayaan yang boleh dikawal intensitinya, bukannya suis on/off biasa. Dengan cara ini, kita dapat mengelakkan suhu yang berlebihan, sekali gus mengelakkan wafer daripada rosak. Yang paling baiknya, penggunaan tenaga dapat dikurangkan sebanyak 20% hingga 30%. **Kelemahan:**Tidak boleh digunakan secara mudah Masalahnya adalah, sistem inframerah memerlukan ruang yang kecil untuk berfungsi dengan efektif. Anda tidak boleh sekadar memasangnya ke dalam peralatan lama dan menganggap semuanya selesai. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, haba yang dipancarkan oleh wafer akan merosakkan peralatan tersebut. Anda mungkin akan merosakkan lampu tersebut, atau lebih buruk lagi, merosakkan substrat wafer tersebut. Menggunakan sistem inframerah bukan sekadar menggantikan mentol biasa. Ia melibatkan penilaian keseluruhan sistem tenaga di kilang tersebut, serta cara untuk menghilangkan “haba yang tidak diperlukan” yang telah menyebabkan pembaziran tenaga selama bertahun-tahun.