半導体ウェーハを乾燥させるためのより良い方法 洗浄処理の後に行われる乾燥や硬化処理という作業は、実に面倒なものです。鉛フリーで環境に優しい製品を目指す今、従来の方法ではもう十分ではありません。そのため、私たちは防水対応の赤外線ランプを利用しています。これにより、有害な化学溶剤を使わずに済み、乾燥工程全体の炭素排出量も削減できます。 赤外線の利点 通常の対流式オーブンを考えてみてください。部品が熱を感じる前に、大量のエネルギーが空気を温めるために使われてしまいます。これは無駄な使い方です。 一方、赤外線はエネルギーを直接基板に送り込みます。中間体が不要なのです。 また、洗浄水を扱う際には、防水機能付きの素子を使用します。そうしないと、水分が入り込み、クォーツケースが割れてしまい、結果的に短絡が起こってしまいます。火曜日の朝にこんなことになるのは誰も望みません。 ストレスなく環境に配慮する方法 鉛フリー基準を目指す場合、新たな汚染物質を混入させないことが最も重要です。赤外線を使えば、「乾燥」プロセスが実現できます。速度を上げるために揮発性有機化合物を使う必要はありません。 短波または中波の赤外線を使えば、水や残留物が付着している場所を正確に狙えます。これにより、すべてが迅速に蒸発しますが、全体の温度は低く保たれます。これは、敏感なウェーハが熱ストレスで変形したり割れたりするのを防ぐのに役立ちます。 デメリット（完璧なものはない） ただし、高ワット数のランプは強力です。生産効率を高めるのに役立ちますが、同時に非常に熱くなります。 もし筐体の換気が適切でなければ、問題が生じます。適切な冷却ファンがなければ、その熱が蓄積され、機械の枠が変形したり、センサーが破壊されたりする可能性があります。バランスを取る必要があります。 良いニュースは、これらのランプは、古くて不格好な加熱素子の簡単な置き換え品として設計されていることです。交換すれば、ウォームアップ時間も短縮され、電力の無駄遣いもなくなります。これにより、「環境に優しい」目標を達成しつつ、ウェーハを失うこともありません。