クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために
もしあなたがクラス100のクリーンルームを運営しているなら、粒子の発生や化学物質の放出という問題がどれほど厄介かご存知でしょう。わずかなミスだけで、作業した製品全体が台無しになってしまいます。
多くの人々は、一般的な赤外線ランプが実はこの問題の原因であることに気づいていません。赤外線ランプは空気中の酸素をイオン化させることでオゾンを生成します。これは、腐食性のある環境を作り出すため、敏感な素材にとっては大きな問題です。
私たちはこの問題を解決しました。高純度の合成石英を使用し、フィラメントの形状を見直することで、オゾンの生成を防ぎました。
オゾンをどうやって防ぐのか
オゾンは、短波長の紫外線が酸素に当たったときに発生します。これを防ぐために、真空紫外線を遮断する特殊な石英を使用しています。そうすれば、加熱処理の際に反応性の高い酸素種がチャンバー内に混入することはありません。また、高純度の石英を使用することで、ランプが最も高温になったときに不純物が放出されることもありません。低品質のガラスでは、その熱に耐えられず、空気中に不純物が漏れ出してしまいます。
製造品質
私たちは、管として融合シリカを使用しました。これは、通常のホウケイ酸ガラスよりも熱衝撃に強いのです。また、フィラメントの位置も非常に重要です。少しでもずれてしまうと、熱の集中点ができ、それが製品の破損につながります。そして、必要な熱密度を得るためにランプは高温で動作するため、ワイヤーと石英が接続される部分の密封性も完璧でなければなりません。もし漏れがあれば、クリーンルーム内に汚染物質が入ってしまいます。簡単な話です。
注意すべき点
これらのランプは、クリーンで直接的な放射熱を提供しますが、代償があります。高純度の石英は、一般的な工業用ガラスよりもややもろいので、取り付け時には注意が必要です。管に機械的なストレスがかかると、壊れてしまうかもしれません。また、空気の流れも確認してください。小さな空间に大量の電力を供給すると、熱負荷が非常に大きくなります。オゾンがなくても、十分な冷却が行われない場合、近くのプラスチックが変形してしまう可能性があります。