トロリーヒーターを最大限に活用する方法
もし半導体クリーンルームで働いたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェハーを運搬するためのトロリーを加熱する必要がありますが、そのエネルギーを正確に必要な場所に届けるのは思ったほど簡単ではありません。
多くの場合、熱は適切に伝わらず、ランプから漏れ出して、ウェハーではなくケースや周囲の空気を温めてしまいます。これはエネルギーの無駄遣いであり、設備にとっても悩みの種です。
秘密は金です。
私たちは金メッキされた反射器を使用しています。実際、金は赤外線に対して非常に優れた反射性能を持っています。98％以上の熱が反射され、エネルギーが四方八方に散らばる代わりに、集中したビームとしてウェハーに届きます。
最も良い点は、出力を上げることなく、ウェハーにより多くの熱を与えられることです。これにより、全体の温度管理がずっと容易になります。無駄なエネルギーを気にしなくて済むので、低出力でも目標の温度に到達できます。また、シャーシの他の部分も冷却されます。もし適切な反射器がなければ、過剰なパワーを使ってしまい、クリーンルーム内の部品が損傷する危険があります。さらに、私たちは形状を調整するのに多くの時間を費やしました。滑らかで均一な熱分布を実現するためです。
設置自体は非常に簡単です。既存のトロリーシステムにそのまま取り付けられるように設計されています。焦点が正確に調整されているので、熱がウェハーの正確な位置に当たります。
ただし、一つ注意点があります。
金は繊細です。もしその反射面に油や化学物質が付着すると、熱の分布が乱れてしまいます。最初はわずかな変化かもしれませんが、やがてウェハー全体の温度が均一でないことに気づくでしょう。その時、出力を上げて補う誘惑に駆られますが、それは避けるべきです。そうするとヒーターが壊れてしまいます。反射器を清潔に保てば、システムがしっかりと機能してくれます。