Smettete di sprecare energia nell’aria: un modo migliore per asciugare le wafer Le fabbriche di semiconduttori sono sotto pressione per diventare “carbon neutral”. Tuttavia, se si considera la fase di essiccazione, questa rappresenta spesso una fonte di spreco energetico. Molte linee di produzione continuano ancora a utilizzare forni a convezione tradizionali. È come cercare di riscaldare un intero ambiente solo per scaldare una singola tazza di caffè: si spreca tantissima energia per riscaldare le pareti del forno, mentre l’unica cosa importante è davvero la wafer stessa. Come funzionano i raggi infrarossi Abbiamo optato per lampade a raggi infrarossi a onda corta: queste non influiscono sull’aria che circonda la wafer. Invece di aspettare che l’ambiente circostante si riscaldi, i fotoni colpiscono direttamente la superficie della wafer e si trasformano immediatamente in calore. Il processo è molto veloce: si raggiunge la temperatura desiderata in pochi secondi, non in minuti. I numeri (e perché sono importanti) Quando effettuiamo un controllo nelle fabbriche, guardiamo soltanto un parametro: i kilowatt-orari necessari per asciugare una singola wafer. Utilizzando array a raggi infrarossi, possiamo eliminare questa enorme quantità di energia sprecata. Non dobbiamo più lottare contro le pareti di acciaio pesanti. Inoltre, utilizziamo la modulazione della larghezza di impulso per regolare l’energia fornita. È come avere un interruttore regolabile, invece di uno interruttore semplice on/off. Così si evita di superare la temperatura desiderata, il che significa meno problemi legati alla deformazione delle wafer. E il miglior punto? Il consumo energetico diminuisce generalmente del 20-30%. L’aspetto negativo: non si possono semplicemente utilizzare senza modifiche I array a raggi infrarossi sono estremamente efficaci, ma richiedono un impianto adeguato per funzionare correttamente. Non si possono semplicemente inserire in un vecchio apparato e basta. Se i sistemi di raffreddamento non sono adeguati, il calore emesso dalle lampade potrebbe danneggiare l’intero sistema. Potrebbero bruciarsi le lampade oppure, peggio ancora, potrebbe essere danneggiato il substrato su cui viene posizionata la wafer. Passare ai raggi infrarossi non significa semplicemente sostituire una lampadina: si tratta di prendere in considerazione l’intero bilancio energetico della fabbrica e di eliminare quel “calore inutile” che da anni rappresenta una spesa ingiustificata.