Smettete di permettere che i elementi di riscaldamento rovinino i vostri risultati produttivi. Se gestite una sala pulita di classe 100, sicuramente conoscete bene questo problema: anche un piccolissimo granello di materiale o una leggera emissione di gas può mandare in fumo l’intero lotto di prodotti. È frustrante. La maggior parte degli elementi di riscaldamento standard non è progettata per funzionare in queste condizioni: essi perdono efficacia o emettono composti organici volatili proprio nel momento in cui bisogna che rimangano stabili.
Abbiamo trovato una soluzione migliore: utilizziamo lampade a infrarossi in quarzo sintetico ad alta purezza, progettate appositamente per il lavoro con i semiconduttori.
Il problema del “quarzo standard”
La maggior parte delle lampade a infrarossi utilizza quarzo “standard”. Tuttavia, questo tipo di quarzo contiene additivi e impurità che si decompongono durante le prime ore di utilizzo. In un laboratorio, questo periodo di “assestamento” rappresenta davvero un problema.
Noi abbiamo eliminato tutti questi elementi indesiderati. Utilizzando silice fusa con quasi zero impurità, abbiamo eliminato il rischio di contaminazione metallica. Non dovrete più affrontare quel problema fastidioso legato alla decomposizione iniziale, né preoccuparvi delle particelle microscopiche che potrebbero staccarsi quando la temperatura varia. È semplicemente tutto più pulito.
Riscaldamento esattamente dove serve
Queste lampade emettono radiazioni nell’intervallo dei raggi infrarossi a breve lunghezza d’onda. Questo è importante perché l’energia viene direttamente trasmessa sulla superficie del wafer. Non c’è alcuna perdita di energia per riscaldare l’aria circostante o il corpo della macchina.
È veloce… davvero veloce. Grazie al rapido aumento di temperatura e al preciso controllo termico, è possibile mantenere dimensioni compatte alle macchine, senza sacrificare la potenza di riscaldamento.
L’unica sfida…
Il quarzo ad alta purezza può gestire temperature estreme, ma tale intensità termica mette a dura prova i sigilli a vuoto e i connettori elettrici. Se aumentate la potenza per ottenere maggiori prestazioni, dovete assicurarvi che i sistemi di raffreddamento siano in grado di gestire il calore generato. Altrimenti, i componenti potrebbero danneggiarsi o il sistema potrebbe spegnersi per evitare danni.
Abbiamo progettato queste lampade in modo che possano sostituire facilmente quelle attualmente in uso. Abbiamo prestato molta attenzione alla qualità del filamento e alla purezza del vetro, così da eliminare ogni rischio legato alle particelle presenti nell’aria e permettervi di concentrarvi sui vostri risultati produttivi.